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          GU型高真空(壓力)球閥操作應用案例

        1. 發(fā)布日期:2025-02-11      瀏覽次數:332
          • GU型高真空(壓力)球閥操作應用案例

            GU型高真空(壓力)球閥用于接通或切斷真空(壓力)系統(tǒng)管路中的介質流。應用于真空、乳制品、酒業(yè)、生物工程、食品、制藥、飲料、化妝品及化工領域。真空閥門是指在真空系統(tǒng)中,用來改變氣流方向,調節(jié)氣流量大小,切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件,是指工作壓力低于標準大氣壓的閥門。真空閥門關閉件是用橡膠密封圈或金屬密封圈來密封的。

            在半導體領域內,主要的應用有鏈接大氣和腔室之間的門閥,腔室之間的傳輸閥,腔室和泵之間的插板閥或者擺閥。

            法蘭連接是高真空閥門最常見的連接方式,法蘭主要有三種,CF法蘭、KF法蘭、ISO法蘭,對應的閥門一般稱作CF高真空閥門、KF法蘭閥門、ISO法蘭閥門。那么它們之間又有什么區(qū)別呢?

            真空球閥03.jpg

            1、CF真空法蘭

            CF法蘭的英文名是(ConflatFlang)。它是一種用于超高真空中的法蘭連接,是一種金屬靜密封,可以承受高溫烘烤的真空法蘭。

            公稱直徑尺寸包括:DN16、40、63、100、160、200、250

            適用的真空度高達:10-12mbar

            法蘭密封材料通常為Viton、PTFE、無氧銅等

            法蘭通常為304、316不銹鋼等。

            2、ISO-KF真空法蘭:

            ISO-KF是應用在真空系統(tǒng)中的一種快卸法蘭。他由以下幾個元件構成:兩個成對稱分布的KF法蘭、O-Ring、定心支架、卡箍。勿需使用別的工具,只要簡單地用手擰動碟形螺母就可以松開或壓緊聯接。

            ISO-KF真空接頭是小尺寸的快裝法蘭接頭,公稱直徑尺寸包括:DN10, 16, 25, 40, 50。

            制造標準包括:DIN28403,ISO2861

            適用的真空度高達:10-8mbar。

            法蘭密封材料通常為:Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、鋁等

            法蘭通常為:304、316不銹鋼等

            ISO-KF 真空接頭通常由法蘭(flang)、快夾(clamp)、密封圈(O-Ring)、中心定位環(huán)(centeringring)組成。

            3、ISO真空法蘭:

            ISO法蘭和配管可用于從大氣壓到高真空,經常裝拆的各種應用中。一般管子的直徑超過50mm(2英寸)。如果使用氟橡膠O形圈,可以承受150℃烘烤。

            ISO-K和ISO-F真空接頭是大尺寸的真空接頭,公稱直徑尺寸包括:DN63、100、160、200、250、320、400、500 和630。

            ISO法蘭常用的兩種形式是ISO-K和ISO-F。

            制造標準包括:DIN28404 ,ISO 1609

            可應用在要求真空度高達10-8mbar的場合

            法蘭密封材料通常為Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、鋁絲等

            法蘭通常為304、316不銹鋼等

            A、ISO-K真空接頭通常由法蘭(flang)、法蘭爪(clamp)、密封圈(O-Ring)、中心定位環(huán)(centeringring)組成。

            B、ISO-F真空接頭通常由法蘭(flang)、密封圈(O-Ring)、中心定位環(huán)(centeringring)組成,與ISO-K不同的地方是法蘭用螺栓堅固。

            4 、NW系列:

            NW同樣是用在高真空系統(tǒng)中的真空配件,是日本的規(guī)范,所以NW的真空配件在日企或者日本設備里面用到的相對來說多一些。前面我們說過,ISO系列的是兩片ISO的法蘭片和四個雙卡鉤進行連接,而NW的鏈接方式是兩片NW的法蘭在一起,用鏈式卡箍進行連接(N63的法蘭外觀上就是大一號的NW50的法蘭)。

            真空球閥12.jpg

            GU型高真空(壓力)球閥操作應用案例高真空球閥的特點

            1. 優(yōu)異的密封性能

            • 真空密封采用金屬密封(如焊接金屬波紋管)或彈性密封(如氟橡膠、PTFE),在高真空下可實現零泄漏。


            進口高真空球閥的結構組成

            • 耐高真空

              • 適用于10?1~10?? Pa的真空度,甚至更高的超高真空條件。

            • 結構緊湊

              • 閥體小巧,適合高真空系統(tǒng)的緊湊布局。

            • 耐腐蝕性強

              • 閥體多采用不銹鋼制造,能夠抵抗真空環(huán)境下腐蝕性氣體的影響。

            • 操作靈活

              • 可手動、電動或氣動控制,啟閉迅速。

            • 低排氣率

              • 材料經過特殊處理,減少閥體內表面和密封件的排氣量,提高真空系統(tǒng)穩(wěn)定性。

            • 長壽命設計

              • 使用壽命長,密封性能穩(wěn)定可靠,適合頻繁開關操作。

            1. 閥體

            • 通常采用不銹鋼材料,滿足高真空及腐蝕性介質的要求。

            • 球體

            • 精密加工的不銹鋼球體,確保高真空環(huán)境下的低摩擦和高密封性。

            • 閥座

            • 根據需求選用金屬密封或軟密封(如PTFE、氟橡膠)。

            • 閥桿

            • 防吹出設計,傳遞扭矩實現啟閉,采用真空密封設計。

            • 密封件

            • 金屬波紋管、彈性密封圈等材料,確保真空下的零泄漏。

            • 驅動裝置

            • 可選手動操作、電動執(zhí)行器或氣動執(zhí)行器,實現自動化控制。

            • 接口類型

            • 可配CF法蘭、KF法蘭、ISO法蘭或真空焊接接口,適應不同的真空系統(tǒng)。


            • 真空球閥05.jpg

            GU型高真空(壓力)球閥操作應用案例的工作原理

            1. 啟閉控制

            • 通過手柄、氣動或電動執(zhí)行器驅動閥桿,旋轉球體90°實現管路的啟閉控制。

            • 密封保持

            • 在關閉狀態(tài),球體與閥座貼合,配合真空密封件,阻止真空泄漏。

            • 全開狀態(tài)

            • 球體流道與管道流道對齊,確保氣流暢通,保持真空系統(tǒng)的高效運行。

            GU型高真空(壓力)球閥操作應用案例的優(yōu)點

            1. 適用范圍廣

            • 能滿足高真空、超高真空以及少量正壓工況。

            • 密封可靠性高

            • 真空密封技術確保零泄漏,保障系統(tǒng)穩(wěn)定性。

            • 耐用性強

            • 經過拋光處理和真空脫氣處理的部件,能長期工作在高真空環(huán)境。

            • 操作便捷

            • 手動和自動化控制選擇靈活,滿足不同真空系統(tǒng)需求。

            • 低維護成本

            • 高精度制造與優(yōu)質材料,減少了長期維護的頻率和成本。

            進口高真空球閥的應用領域

            1. 半導體制造

            • 適用于真空鍍膜設備、刻蝕機等高真空環(huán)境。

            • 光電行業(yè)

            • 用于真空光學設備、激光真空系統(tǒng)。

            • 科研實驗室

            • 真空實驗設備中的流量切斷或切換控制。

            • 航天領域

            • 用于航天器真空測試系統(tǒng)和模擬高真空條件。

            • 精密制造

            • 涉及真空封裝和真空熱處理的設備。

            • 核工業(yè)

            • 高真空系統(tǒng)中的流體控制和安全切斷。

            • 真空球閥03.jpg

            GU型高真空(壓力)球閥操作應用案例的選型要點

            1. 真空度要求

            • 根據系統(tǒng)要求選擇適應的真空范圍(如高真空或超高真空)。

            • 密封形式

            • 金屬密封:適用于高溫、超高真空等苛刻工況。

            • 軟密封:適用于中低真空系統(tǒng),性價比高。

            • 材質選擇

            • 通常選擇304、316L不銹鋼,必要時選擇耐腐蝕合金。

            • 接口方式

            • 根據系統(tǒng)管路接口選擇CF、KF、ISO法蘭或真空焊接。

            • 驅動方式

            • 手動適合簡單系統(tǒng),氣動或電動適用于自動化系統(tǒng)。

            • 工作溫度

            • 確保閥門材質和密封件耐高溫性能滿足實際工況需求。

            GU型高真空(壓力)球閥操作應用案例的維護保養(yǎng)

            1. 清潔保養(yǎng)

            • 定期清理閥體內表面和球體,防止污染物影響密封性能。

            • 潤滑處理

            • 使用真空專用潤滑劑,減少球體與閥座的磨損。

            • 密封件更換

            • 發(fā)現密封件老化或損壞時,及時更換以確保真空度。

            • 表面防腐

            • 閥門外表面需定期清潔,以防腐蝕性氣體導致的損壞。

            • 動作檢查

            • 定期測試閥門啟閉靈活性,確保球體、閥桿運行正常。

            GU型高真空(壓力)球閥操作應用案例總結

            進口高真空球閥是高真空系統(tǒng)中的關鍵部件,其優(yōu)異的密封性、耐高真空性能和適應性,使其能夠滿足多種工業(yè)及科研領域的應用需求。合理選型和科學維護,可顯著提升真空系統(tǒng)的效率與安全性。

            真空球閥01.jpg

            GU型高真空(壓力)球閥主要技術性能

            閥門漏率:

            ≤1.3x10-5 Pa.L/S

            適用溫度:

            -30~+150℃

            -30~+300℃(PPL密封)

            適用范圍:

            連接型式

            使用壓力范圍(Pa)

            活套法蘭(GB6070)

            0.6x106-6.7x10-5

            焊接法蘭(GB6070)

            1.6x106-6.7x10-5

            快卸法蘭(GB4982/ISO-KF)

            105-6.7x10-5

            螺紋連接

            1.6x106-6.7x10-5

            安裝狀態(tài):

            任意

            主要零件材料

            閥體、球芯、閥桿:

            不銹鋼

            密封件:

            四氟乙烯、氟橡膠、PPL.





            GU型高真空(壓力)球閥外形及連接尺寸(mm)

              

            真空球閥08.jpg

            螺紋連接的外形及連接尺寸(圖一)

            Model

            DN

            G

            H

            E

            L

            型號

            GU-10(G)

            10

            1/4"

            52

            105

            68

            GU-16(G)

            16

            1/2"

            64

            130

            72

            GU-20(G)

            20

            3/4"

            67

            130

            82

            GU-25(G)

            25

            1"

            83

            165

            90

            GU-32(G)

            32

            1-1/4"

            89

            165

            112

            GU-40(G)

            40

            1-1/2"

            100

            190

            120

            GU-50(G)

            50

            2"

            125

            190

            145

            GU-63(G)

            63

            2-1/2"

            150

            250

            185

            GU-80(G)

            80

            3"

            161

            250

            210

            活套法蘭連接(GB6070)(圖二)

            Model

            DN

            D

            Do

            H

            E

            L

            n-φc

            型號

            GU-10(F)

            10

            55

            40

            52

            105

            84

            4-φ6.6

            GU-16(F)

            16

            60

            45

            64

            130

            84

            4-φ6.6

            GU-20(F)

            20

            65

            50

            67

            130

            114

            4-φ6.6

            GU-25(F)

            25

            70

            55

            83

            165

            114

            4-φ6.6

            GU-32(F)

            32

            90

            70

            89

            165

            140

            4-φ9

            GU-40(F)

            40

            100

            80

            100

            190

            160

            4-φ9

            GU-50(F)

            50

            110

            90

            125

            190

            170

            4-φ9

            GU-63(F)

            63

            130

            110

            150

            250

            195

            4-φ9

            GU-80(F)

            80

            145

            125

            161

            250

            220

            8-φ9

            GU-100(F)

            100

            165

            145

            180

            280

            280

            8-φ9

            快卸法蘭連接(GB4982)(圖三)

            Model

            DN

            D1

            D

            H

            E

            L

            型號

            GU-10(KF)

            10

            12.2

            30

            52

            105

            84

            GU-16(KF)

            16

            17.2

            30

            64

            130

            84

            GU-25(KF)

            25

            26.2

            40

            83

            165

            114

            GU-32(KF)

            32

            34.2

            55

            89

            165

            140

            GU-40(KF)

            40

            41.2

            55

            100

            190

            160

            GU-50(KF)

            50

            52.2

            75

            125

            190

            170

            焊接式球閥外形及連接尺寸(圖四)

            Model

            DN

            D

            H

            E

            L

            型號

            GU-10H

            10

            17.5

            52

            105

            94

            GU-16H

            16

            22.7

            64

            130

            104

            GU-20H

            20

            30

            67

            130

            114

            GU-25H

            25

            33.5

            83

            165

            114

            GU-32H

            32

            42

            89

            165

            140

            GU-40H

            40

            48.5

            100

            190

            160

            GU-50H

            50

            60.5

            125

            190

            170

            GU-63H

            63

            76.5

            150

            250

            195

            GU-80H

            80

            90

            161

            250

            203

            GU-100H

            100

            106.5

            180

            280

            280

            球閥安裝全攻略:預備工作、詳細步驟及使用須知
            在閥門行業(yè)中,球閥的安裝與使用是每位從業(yè)者必須掌握的技能。那么,如何正確安裝球閥?在安裝前又需做好哪些準備工作呢?同時,在使用過程中又有哪些事項需要我們特別留意呢?接下來,我們將為您一一解答這些問題,助您輕松掌握球閥的安裝與使用技巧。

            真空球閥07.jpg

            GU型高真空(壓力)球閥操作應用案例安裝前的準備

            1. 確保前后管道同軸,兩法蘭密封面平行。管道需能承受球閥重量,否則應配適當支撐。

            2. 吹掃閥前后管線,清除油污、焊渣及其他雜質。

            3. 核對球閥標志,確認完好無損。多次開關以驗證其性能。

            4. 移除球閥兩端連接法蘭的保護件。

            5. 檢查并清洗閥孔,確保無異物,以防損傷閥座密封面。

            球閥安裝步驟

            1. 將球閥裝上管線,注意任何一端都可裝在上游端。手柄驅動的球閥可任意位置安裝,但齒輪箱或氣動球閥應直立安裝,即驅動裝置在上方。

            2. 在閥法蘭與管線法蘭間裝上密封墊,按管路設計要求進行。

            3. 逐次、對稱、均勻地擰緊法蘭上的螺栓。

            4. 若采用氣動驅動器,需連接氣動管線。

            球閥安裝后檢查

            1. 操作驅動器多次啟閉球閥,確保靈活無卡澀。

            2. 按管路設計要求檢查管道與球閥間法蘭結合面的密封性能。


            3. 真空球閥04.jpg

            GU型高真空(壓力)球閥操作應用案例的使用注意事項

            1. 拆卸分解前必須確認球閥上、下游管道已卸壓。

            2. 清洗非金屬零件后應立即取出,避免長時間浸泡。

            3. 裝配時螺栓需對稱、逐步、均勻地擰緊。

            4. 使用與球閥中零件及工作介質相容的清洗劑。若工作介質為燃氣,可用汽油清洗金屬件,非金屬件用純凈水或酒精清洗。

            5. 分解下來的零件可用浸洗方式清洗,金屬件可用浸漬有清洗劑的綢布擦洗,以確保去除所有油脂、污垢等。
              6、在分解和再裝配球閥時,必須格外小心,以免損傷任何零件的密封面,特別是非金屬零件。當取出O型圈時,建議使用專用工具以確保操作正確。

            7、清洗完成后,需要等待被洗壁面的清洗劑揮發(fā)(可以用未浸清洗劑的綢布擦拭確認)。但請注意,清洗后的零件不得長時間擱置,以防生銹或被灰塵污染。

            8、在裝配新零件之前,也必須確保它們已經清洗干凈。

            9、潤滑是裝配過程中的一環(huán)。應使用與球閥金屬材料、橡膠件、塑料件及工作介質均相容的潤滑脂。例如,當工作介質為燃氣時,可以選擇特221潤滑脂。在密封件安裝槽、橡膠密封件以及閥桿的密封面和摩擦面上,都應涂抹一層薄潤滑脂。

            10、裝配過程中,應確保零件表面上或內腔中沒有任何金屬碎屑、纖維、油脂(除非是規(guī)定使用的)、灰塵及其它雜質或異物,以避免污染或粘附。